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J-GLOBAL ID：200903095530808390
電荷量の測定方法及び電荷量測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994119115
Publication number (International publication number)：1995325119
Application date： May. 31, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】LSIのような、絶縁体と導電体とを含む物体の絶縁体部分が静電気を帯びたとき、その静電気によって導電体に誘導される電荷のうちの過剰動電荷だけを選択的に、製造工程中のあるべきその場、その状態で精度良く測定する。【構成】金属棒14を容量値既知の誘電体4で包み、その上から金属板15で包んで、金属板15を接地電位にする。被測定物から誘電体4迄の配線と誘電体4とを、相互間の相対位置が不変であるように一体化する。金属板15が外部からの電磁誘導を遮蔽するので、被測定物から誘電体4までの配線の変形や電磁誘導による測定値の変動はない。又、誘電体4を、被測定電荷の移動経路に沿って分布容量となるような構造にし、誘電体4が被測定物に近い方から順次時間差をもって充電されて行くようにして、被測定物1の高電圧が瞬間的に電圧計5に加わのを防ぎ、被測定電荷が電圧計5を通してグランドに漏れるのを防止する。
Claim (excerpt)：
絶縁体と導電体とを含んで構成される被測定物が接地電位体に近接して配置されていると共に、前記被測定物の絶縁体が静電荷を帯び、前記導電体に過剰動電荷とこれと等量で反対符号の固定電荷とを誘導しているとき、一方の電極を接地電位に保った容量値既知のキャパシタの他方の電極と前記導電体との間で接触放電あるいは火花放電などのような放電を発生させることによって、前記導電体に誘導された電荷のうちの過剰動電荷だけを選択的に前記キャパシタに蓄積させて電圧に変換し、その変換された電圧Vと前記キャパシタの容量値Cとから、前記過剰動電荷の量QをQ=CVにより算出することを特徴とする電荷量の測定方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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