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J-GLOBAL ID：200903095549206243

2次元情報測定装置

Inventor： 中楯 末三
Applicant, Patent owner： 中楯 末三
Agent (1)： 安形 雄三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991143851
Publication number (International publication number)：1993087541
Application date： May. 20, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、バイアス位相が120°ずつ異なる3種の画像データを得て、被測定物体からの2次元的な物理量の情報を高精度、実時間で測定する装置を提供することにある。【構成】 縞画像を出力する光学系から出力された光に対して、周波数同期したテレビカメラで撮像し、バイアス位相が120度ずれた信号を得る。そのビデオ信号を用いてディジタル演算、処理を行ない、測定縞画像の位相分布や位相差分布を実時間で測定する。

Claim (excerpt)：

2次元的な物理量の変化に応じて、バイアス位相が120°ずつ異なる3つの正弦波状信号の2次元光強度を出力する物理量測定光学系と、前記物理量測定光学系からの前記正弦波状信号のバイアス位相が0°である光強度を2次元的に検出する第1の光検出手段と、前記バイアス位相と位相が120°異なる前記物理量測定光学系からの光強度を2次元的に検出する第2の光検出手段と、前記第1の光検出手段により検出された光のバイアス位相と位相が240°異なる前記物理量測定光学系からの光強度を2次元的に検出する第3の光検出手段とを備え、前記第1、第2及び第3の光検出手段に基づいて前記物理量に関する2次元的情報を測定するようにしたことを特徴とする2次元情報測定装置。