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J-GLOBAL ID:200903095552001520
角速度センサ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997045587
Publication number (International publication number):1998239067
Application date: Feb. 28, 1997
Publication date: Sep. 11, 1998
Summary:
【要約】【課題】 移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いる温度特性に優れ、外乱振動に強い角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 駆動部18に対して検知部17を(90+α)°となるように配置し、前記駆動部18の平面上と前記検知部17の平面上とに圧電素子12,13a,13bを貼り付けた一対の音叉片と、この一対の音叉片を上記駆動側において金属ブロック14を介して結合することにより構成した音叉振動子を備え、上記一対の音叉片は恒弾性の金属板11の中央近傍部において折り曲げた構成にすることにより、不要信号としての発生電荷がほとんどゼロとなり、温度特性に優れ、外乱振動に強い高性能の角速度センサを得ることができる。
Claim (excerpt):
駆動部と検知部とを直交関係となるように配置し、前記駆動部を形成する金属板の平面上と前記検知部を形成する金属板の平面上とに圧電素子を貼り付けた一対の音叉片を有し、この一対の音叉片を上記駆動側において金属ブロックを介して結合することにより構成した音叉振動子を備え、上記一対の音叉片のそれぞれは平板状の金属板の中央近傍部において長手方向に互い違いとなるように幅方向の端面から中央近傍に向かって設けたスリットにより幅方向に折り曲げた構成を具有し、かつ前記駆動部に対する前記検知部の曲げ角度が(90+α)°の関係をもって配置されている角速度センサ。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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角速度センサおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-189971
Applicant:松下電器産業株式会社
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特開平4-372814
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特開平3-084413
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特開平4-372814
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特開平3-084413
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