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J-GLOBAL ID：200903095579354093
ハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992183214
Publication number (International publication number)：1994003279
Application date： Jun. 17, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：
【要約】【構成】点光源光及び平行光をハードディスク又はウエハーに当てて反射させ、それぞれの反射光又は散乱光を別々にCCDセンサーカメラで写し撮り、その光の階調差を検知することによるハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置。【効果】ハードディスク又はウエハーのスクラッチ、ピンホール、しみ、へこみ、小突起などの非常に浅い凹凸の欠陥部を効率的に検査することができる。
Claim (excerpt)：
点光源光及び平行光をハードディスク又はウエハーに当てて反射させ、それぞれの反射光又は散乱光を別々にCCDセンサーカメラで写し撮り、その光の階調差を検知することを特徴とするハードディスク又はウエハーの検査方法。
IPC (2)：
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