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J-GLOBAL ID：200903095591457469

クリーンルーム

Inventor： 長 谷 川 寛
Applicant, Patent owner： 日立プラント建設株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992110847
Publication number (International publication number)：1993288378
Application date： Apr. 03, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】クリーンゾーンの天井裏に大きなダクトスペースを必要とせずに構築できると共に設備の拡張も簡単にできるクリーンルームを提供する【構成】クリーンルーム20の能力に必要な数のパッケージエアコン22をクリーンゾーン24の天井裏26に設け、前記パッケージエアコン22の吸気側に接続した外気導入ダクト30から新鮮空気を取り入れて空調した後、前記パッケージエアコン22の給気側に取付けたHEPAフィルタユニット34で清浄化した後、清浄な空調空気をクリーンゾーン24に吹き出すようにする。これにより、前記天井裏26に配設されるダクト系は前記パッケージエアコン22に新鮮空気を導入する外気導入ダクト30だけでよく、従来のクリーンルーム20に見られた供給ダクト及び還気ダクトが必要なくなる。従って、天井裏26にダクト配設の大きなスペースを取る必要がないので、天井裏26が狭い建屋にもクリーンルーム20を構築することができる。

Claim (excerpt)：

クリーンゾーン上方の天井裏から清浄空気を前記クリーンゾーンに吹き出すクリーンルームに於いて、前記クリーンルーム外の空気とクリーンゾーン内の空気とを混合するミキシングチャンバ、ミキシングチャンバからの空気を熱交換器とHEPAフィルタユニットに向けて送りだすファンから成るパッケージエアコンを、前記天井裏の所定箇所に複数設置し、前記ミキシングチャンバには外気の導入ダクトを接続すると共に前記熱交換器は室外機の熱媒源と連通され、前記HEPAフィルタユニットからクリーンゾーンに向けて清浄空気を吹き出すことを特徴とするクリーンルーム。