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J-GLOBAL ID：200903095603085449

テーブル装置、縮小投影露光装置及び電子線描画装置

Inventor： 前川 典幸 ,  小林 功
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高崎 芳紘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992348957
Publication number (International publication number)：1994204106
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明はリソグラフィ装置において位置決めの多自由度化と高スループット化を同時に達成できるテーブル装置を提供することを目的とする。【構成】 移動台3と、緩衝部2を介して移動台3に設けられた試料台1と、弾性連結部4を介して移動台3に設けられた摺動部8と、摺動部8と移動台3の間に設けられた微動アクチュエータ7と、摺動部8と移動台3の間に設けられたダンパ7と、移動台3と摺動部8とを一体的に駆動する直動アクチュエータ6によってテーブル装置を構成する。また放熱装置、排熱装置をテーブル装置に組み込む。【効果】 一つの粗動アクチュエータを除いた全てのアクチュエータは移動台を直接駆動でき、積み重ねるべき板材の枚数が減るため、軽量化が図れる。同時にアクチュエータの熱の影響を低減できるので、高速化が可能となる。

Claim (excerpt)：

試料を載置する試料台と、該試料台を支持する移動台と、該移動台を保持して移動台を少なくとも一方向に駆動する直動アクチュエータと、上記移動台に結合して移動台と連動すると共に該結合部を介して移動台を微動する微動アクチュエータと、上記直動アクチュエータを支持すると共に上記微動アクチュエータを摺動可能に支持する支持部と、より成るテーブル装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00

FI (3)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 341 L