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J-GLOBAL ID：200903095612792158

メッキ処理装置およびメッキ処理方法

Inventor： 玉置 政博 ,  小崎 克也
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997031854
Publication number (International publication number)：1998226896
Application date： Feb. 17, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 メッキ液の不要な消費および廃棄を減らしたメッキ液の回収効率の高いメッキ処理装置を提供する。【解決手段】 ウエハ周囲をシール部材でシールし、かかる部分の不要なメッキ層の形成を防止するとともに、シール部材内部のウエハ上面近傍まで延長された排出管を有するメッキ液排出手段によりメッキ液を排出する。

Claim (excerpt)：

ウエハ上面を上向きに載置するためのメッキ処理槽底部と、上記ウエハ上面の周囲をシールするシール手段を有し、該シール手段を介して上記ウエハ上面に密閉可能なメッキ処理浴を形成するメッキ処理槽本体部とからなるメッキ処理槽と、上記メッキ処理浴を密閉して加圧するためのガス導入手段と、上記ガス導入手段により加圧された上記メッキ処理浴からメッキ液を排出するために、上記メッキ処理槽本体部側壁から上記シール手段内部のウエハ上面近傍まで延長された排出管を有するメッキ液排出手段とを有することを特徴とするメッキ処理装置。