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J-GLOBAL ID：200903095648582184

圧電型変位センサ

Inventor： 中 村 武
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995135825
Publication number (International publication number)：1996304446
Application date： May. 08, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 検出回路をシンプルにすることができる圧電型変位センサを提供する。【構成】 圧電型変位センサ10は、差動増幅回路26を含む。差動増幅回路26は、圧電素子14aおよび14bからの信号の差をとり、増幅するためのものである。差動増幅回路26の非反転入力端子は、圧電素子14aの電極20aに電気的に接続される。差動増幅回路26の反転入力端子は、圧電素子14bの電極20bに電気的に接続される。そして、差動増幅回路26の出力端子は、同期検波回路28の入力端子に接続される。同期検波回路28は、差動増幅回路26からの出力信号を同期検波するためのものである。この圧電変位センサ10では、同期検波回路28の同期信号と振動体12の駆動信号との位相差を90°にする。

Claim (excerpt)：

板状の振動体、前記振動体の両面に形成され、前記振動体を振動させるための駆動用および前記振動体の変位に対応した出力を得るための検出用を兼ねる2つの圧電素子、前記圧電素子に接続され、前記振動体を励振するための駆動回路、および前記圧電素子に接続され、前記振動体の変位に対応した信号を検出するための検出回路を含む圧電型変位センサであって、2つの前記圧電素子の共振周波数の変化により生じる位相差から前記振動体の変位を検出する、圧電型変位センサ。

IPC (3)：

G01P 15/10 ,  G01L 1/16 ,  G01P 15/09

FI (3)：

G01P 15/10 ,  G01L 1/16 ,  G01P 15/09