紫外対物レンズ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：韮澤弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991233121
Publication number (International publication number)：1993072482
Application date： Sep. 12, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 250nm付近の波長域で使用可能な高倍、高開口数で、像面の平坦性、透過率も良く、作動距離も比較的長い乾燥系高解像紫外対物レンズ。【構成】物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと凹凸接合メニスカスレンズよりなり、全体として正パワーの第1レンズ群L1、3枚接合レンズを少なくとも2個含み、全体として正パワーの第2レンズ群L2、凹凸接合レンズを含み、負パワーの第3レンズ群L3よりなり、(1)2.5<|f<SB>1 </SB>/f|<5、(2)5<|f<SB>2 </SB>/f|<10、(3)2.5<|f<SB>3 </SB>/f|<7.5、の条件を満足する対物レンズである。ここで、f<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、f<SB>3 </SB>、fはそれぞれ第1レンズ群L1、第2レンズ群L2、第3レンズ群L3及び全系の焦点距離である。

Claim (excerpt)：

物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと凹凸接合メニスカスレンズよりなり、全体として正パワーの第1レンズ群L1、3枚接合レンズを少なくとも2個含み、全体として正パワーの第2レンズ群L2、凹凸接合レンズを含み、負パワーの第3レンズ群L3よりなり、以下の条件を満足することを特徴とする紫外対物レンズ:(1) 2.5<|f<SB>1 </SB>/f|<5(2) 5<|f<SB>2 </SB>/f|<10(3) 2.5<|f<SB>3 </SB>/f|<7.5ただし、f<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、f<SB>3 </SB>、fはそれぞれ第1レンズ群L1、第2レンズ群L2、第3レンズ群L3及び全系の焦点距離である。

IPC (2)：

G02B 21/02 , G02B 13/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開昭54-011755
特開昭54-079053
特開昭58-090611

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