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J-GLOBAL ID：200903095681957487
ウェーハ、識別情報読み取り方法、集積回路製造装置及び集積回路製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993210327
Publication number (International publication number)：1995066091
Application date： Aug. 25, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【構成】 集中制御装置11からの制御により、識別情報読み取り部14で読み取られたウェーハ16上の識別情報に基づいて工程管理リスト12内の工程を次工程に更新する。また、この次工程のための集中制御装置11からの実行命令により、プロセス条件補正部19ではプロセスデータベース21から過去の検査結果が検索され、この検索結果が仕様を満足するならば、次工程のためのプロセス部15内のプロセス装置Mでウェーハ16に処理を施した後、検査部18内の検査装置Tで検査を行う。この検査結果はプロセス条件補正部19からプロセスデータベース21に登録される。【効果】 ウェーハ1枚ずつに対して最適な工程条件の設定を行うことが可能になり、多品種少量生産に対応することができる。
Claim (excerpt)：
集積回路製造のための工程管理用の識別情報が書き込まれていることを特徴とするウェーハ。
Patent cited by the Patent：
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