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J-GLOBAL ID：200903095704765572
加速度センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995316237
Publication number (International publication number)：1997159690
Application date： Dec. 05, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 熱的環境変化に対し、感度低下の少ない加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 表、裏電極2,3を形成し、2層の内部電極4,5で分割された3層構造で、表電極2と内部電極5、裏電極3と内部電極4とを電気的に接続し、表電極2と内部電極4間の圧電体8と、裏電極3と内部電極5間の圧電体9は互いに対向するように分極した短冊状圧電振動子を上、下より支持した構成にする。
Claim (excerpt)：
複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層した積層体と、この積層体の表、裏面に設けた電極とを備え、前記内部電極は交互に前記表、裏面に設けた電極に電気的に接続され、前記内部電極に挟まれた少なくとも2層の圧電体は互いに対向するように分極された加速度センサ。
IPC (5)：
G01P 15/09
, G01L 1/16
, H01L 41/08
, H03H 9/17
, H03H 9/25
G01P 15/09
, G01L 1/16
, H03H 9/17 A
, H03H 9/25 C
, H01L 41/08 Z
Cited by examiner (6)
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