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J-GLOBAL ID：200903095712105514

圧電変位素子、微小プローブ、及びこれらの製造方法、及びこれらを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置

Inventor： 饗場 利明 ,  川崎 岳彦 ,  吉田 茂樹 ,  山本 敬介 ,  川瀬 俊光 ,  宮崎 俊彦 ,  多川 昌宏 ,  高松 修 ,  島田 康弘 ,  中山 優
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992148046
Publication number (International publication number)：1993325274
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置に用いられる、反りの小さい、複数化、集積化可能なカンチレバー状変位素子及び、カンチレバー型プローブを提供する。【構成】 同一バッチで形成した同一の結晶性、及び、応力状態を有する複数の電極・圧電体膜を接着剤を用いて貼り合わせ、中心対称に配置することにより、上下層の応力差が生じなく、電圧を印加しない状態での反りの非常に小さなカンチレバー状変位素子。該カンチレバー状変位素子に情報入出力用プローブを設けてなるカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡及び情報処理装置は、信頼性、安定性に優れた装置となる。

Claim (excerpt)：

圧電体膜と該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極を有するカンチレバー状変位素子において、同一下地上に同一条件で形成された複数の電極・圧電体膜を、中心対称に配置して構成されていることを特徴とするカンチレバー状変位素子。

IPC (2)：

G11B 9/00 ,  H01L 41/09