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J-GLOBAL ID：200903095712229140

静電チャック

Inventor： 梅原 幹裕 ,  坪倉 理 ,  佐藤 政喜
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996258148
Publication number (International publication number)：1998107133
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】吸着特性を向上させるとともに、被吸着物の離脱応答性を高め、かつ塵埃や摩耗粉の付着の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】静電作用により被吸着物を吸着保持する静電チャックの吸着面を遷移金属をドープしてなる単結晶アルミナにより形成する。

Claim (excerpt)：

誘電体層の下面に電極を備えるとともに、上面を吸着面としてなる静電チャックにおいて、上記誘電体層を遷移金属をドープしてなる単結晶アルミナにより形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-186854   Applicant：東陶機器株式会社
• 付着防止静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-322218   Applicant：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド