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J-GLOBAL ID：200903095733108238

SR-X線ミラーの位置決め装置

Inventor： 春見 和之 ,  海老沼 隆一 ,  長谷川 隆行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991289171
Publication number (International publication number)：1993100093
Application date： Oct. 08, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 SR-X線に対するミラーの姿勢を検出しつつ調整することによって、高精度のミラーの位置決めを行う。【構成】 ミラー支持体106、チルト板201および基準フレーム301からなるミラー支持装置によって、ミラー101を真空チャンバー105内に支持するとともに、SR-X線の光路に対するミラー101の姿勢(ωz,ωy)を検出するディテクターユニット801を基準フレーム301によって支持する。ディテクターユニット801は、ディテクターテーブル802にx線ディテクターを搭載して、基準フレーム301に沿ってx軸方向に往復移動される。x線ディテクターによってミラー101の姿勢を検出しながら、基準フレーム301を回動させるωz駆動モーター304、および架台上501を回動させるωy駆動モーター602を駆動する。

Claim (excerpt)：

SR-X線を所望の方向に拡大する反射面を備えたミラーを支持するミラー支持手段と、前記ミラー支持手段を前記SR-X線の光路に沿った軸のまわりに回動させる第1の駆動手段と、前記ミラー支持手段を前記反射面に垂直な軸のまわりに回動させる第2駆動手段と、前記ミラー支持手段によって支持されたX線検出手段を着脱自在に搭載するディテクターテーブルとからなり、前記ディテクターテーブルが、第3の駆動手段によって前記光路を横切る方向に往復移動されることを特徴とするSR-X線ミラーの位置決め装置。

IPC (4)：

G21K 1/06 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05H 13/04