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J-GLOBAL ID：200903095744658639
光学式変位計
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992141627
Publication number (International publication number)：1993332769
Application date： Jun. 02, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 光三角法に基づく光学式変位計において、被測定面の状態に拘らず、被測定面上でのスポットと、位置検出素子上でのスポットとを常に1:1として高精度の測定を行うようにする。【構成】 光源11から放射される光を被測定面13上にスポットとして投射し、その反射光を第1受光レンズ14により集光し、その出射光を、このレンズの後側焦点に配置したピンホール15に通して一部の光束のみを取り出し、これをピンホールの直後に配置した第2の受光レンズ16によって位置検出素子17上に投射する。
Claim (excerpt)：
被測定面からの反射光の位置の変化を検出して被測定面の変位を測定する光学式変位計において、被測定面からの反射光を集光するレンズの後側焦点にピンホールを配置し、このピンホールを通過した光束のみを位置検出素子に入射させるように構成したことを特徴とする光学式変位計。
IPC (2)：
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