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J-GLOBAL ID：200903095757461435

水溶性パターン形成材料

Inventor： 畠山 潤 ,  渡邉 聡 ,  石原 俊信 ,  梅村 光雄 ,  岡崎 智
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995214274
Publication number (International publication number)：1997043838
Application date： Jul. 31, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(式中、pは1〜10の整数、Rは水溶性アミノ化合物を示す。)で示されるパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸アミン塩型界面活性剤を水に溶解してなることを特徴とする水溶性パターン形成材料。【効果】 本発明の水溶性パターン形成材料は、マイクロバブルを発生させ難く、マイクロバブル数が著しく少ないものであり、欠陥の少ないものである。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)【化1】(式中、pは1〜10の整数、Rは水溶性アミノ化合物を示す。)で示されるパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸アミン塩型界面活性剤を水に溶解してなることを特徴とする水溶性パターン形成材料。

IPC (5)：

G03F 7/004 504 ,  C09D201/00 PDC ,  G03F 7/095 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/004 504 ,  C09D201/00 PDC ,  G03F 7/095 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/30 575