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J-GLOBAL ID：200903095774580359
有機化合物容器、有機蒸発源、及び真空蒸着装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石島 茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074436
Publication number (International publication number)：1998251838
Application date： Mar. 11, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】有機化合物が再付着せず、大口径基板に均一に有機薄膜を形成できる有機化合物容器を提供する。【解決手段】有機化合物容器12をカーボングラファイト製、炭化珪素製又は炭化珪素がコーティングされたカーボングラファイト製にする。収容部131〜134の放出口141〜144の温度は低下せず、その付近で有機化合物蒸気が冷却され、析出物が発生することはない。収容部131〜134は複数であり、1個1個を小径にできるので、熱伝導率が高い容器壁面から内部に収容した粉体状の有機化合物に効率よく熱が伝達され、蒸気発生量が安定化する。更に、各収容部131〜134は、穴開け加工で有底深穴形状とし、その放出口が外方に向くように傾けておくと、有機化合物蒸気の放出角度が広がり、大口径基板に均一な有機薄膜を形成できるようになる。容器上端部151を半円形形状に成形しておくと、放出角度は一層広くなる。
Claim (excerpt)：
有機薄膜の材料となる有機化合物を収容し、加熱されると前記有機化合物の蒸気を放出できるように構成された有機化合物容器であって、カーボングラファイト、炭化珪素又は炭化珪素がコーティングされたカーボングラファイトで形成されていることを特徴とする有機化合物容器。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/24 A
, C23C 14/12
