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J-GLOBAL ID：200903095780227610

圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電体の製造方法

Inventor： 松田 堅義 ,  伊福 俊博
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (3)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006227072
Publication number (International publication number)：2007088445
Application date： Aug. 23, 2006
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：

【課題】結晶性が制御されて高い配向性を有し優れた圧電特性を有し、圧電体膜と電極との密着性が高く、膜剥がれが抑制されて耐久性が高い圧電体及び、作動環境の温度が変化しても圧電特性が劣化しない圧電体を得て、これを用いた圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置を提供する。【解決手段】特定のABO3ペロブスカイト型酸化物の積層構造を有し、積層構造が、第1の結晶相の層と、該第1の結晶相と異なる結晶相を有する第2の結晶相の層と、第1の結晶相の層と第2の結晶相の層との間に設けられる境界層とを有し、第1の結晶相と第2の結晶相が特定の結晶相を有し、境界層が結晶相が層の厚さ方向において漸次に変化するものであり、積層構造全体として、単結晶構造または一軸配向結晶構造を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

(Pb1-xMx)xm(ZryTi1-y)O3(式中、MがLa、Ca、Ba、Sr、Bi、Sb、及びWから選択されるいずれか1種類の元素を示す。)で表されるペロブスカイト型酸化物ABO3の積層構造を有する圧電体であって、 該積層構造は、 正方晶、菱面体晶、擬似立方晶または単斜晶のいずれかから選択された結晶相を有する層状の第1の結晶相と、 正方晶、菱面体晶、擬似立方晶または単斜晶のいずれかから選択され、かつ前記第1の結晶相の結晶相と異なる結晶相を有する層状の第2の結晶相と、 前記第1の結晶相と前記第2の結晶相との間に、結晶相が層の厚さ方向において漸次に変化する境界層とを有し、 積層構造全体として、単結晶構造または一軸配向結晶構造を有することを特徴とする圧電体。

IPC (6)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  C23C 14/08 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (7)：

H01L41/08 C ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  C23C14/08 K ,  B41J3/04 103A

F-Term (16)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BB09 ,  4K029BC00 ,  4K029CA06 ,  4K029DA12 ,  4K029DC15 ,  4K029EA08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開昭62-213399号公報