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J-GLOBAL ID：200903095784818981

ガスの分光分析装置

Inventor： 佐藤 貴之 ,  増崎 宏 ,  呉 尚謙 ,  森下 淳一 ,  石原 良夫
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995149279
Publication number (International publication number)：1997005233
Application date： Jun. 15, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】 多種ガスを分析できる汎用性、実用性に富む分光分析装置であって、バックグランドを効率的に低減させて高精度な分析を行なえるようにしたガスの分光分析装置を提供する。【構成】 光源35からの光を被測定ガスに透過させ、被測定ガス中の測定対象ガス成分によって吸収された光の波長および吸収量を光検出器40で測定する装置であって、測定用セル31の両端部に、光透過性材料からなる窓34を介して、それぞれ気密に区画された第一室32および第二室33を設ける。光源35を第一室32内に配し、光検出器40を第二室33内に配し、他の光学部品も第一室32または第二室33に収容する。第一室32および第二室33を真空排気する手段44、および第一室32および第二室33内へガスを充填する手段45を設ける。

Claim (excerpt)：

光源からの光を被測定ガスに透過させ、該被測定ガス中の測定対象ガス成分によって吸収された光の吸収量を光検出器で測定するガスの分光分析装置であって、被測定ガスが導入される測定用セルの両端部に、少なくとも一部が光透過性材料からなる仕切り壁を介して、それぞれ気密に区画された第一室および第二室が連設され、前記光源が前記第一室または第二室のいずれか一方に収容され、かつ前記光検出器が前記第一室または第二室のいずれか一方に収容されてなるとともに、前記第一室および第二室の少なくとも一方を真空排気する真空排気手段と、前記第一室および第二室の少なくとも一方へガスをパージするガスパージ手段との一方または両方を備えてなることを特徴とするガスの分光分析装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭55-063744
  
• 特公昭50-029674
  
• 特開昭54-082779