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J-GLOBAL ID：200903095798030724
スポット検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宮川 俊崇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072767
Publication number (International publication number)：1994259784
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 スポットの検査に際し、ノイズに対する影響を受けることが少なく、また、ピックアップの設置方向と関係なしに、再現性のよい測定結果が得られるようにして、スポット径のより正確な測定や、スポットの良否の定量的な判定を可能にする。【構成】 強度がピークの点Pを中心とするn本の線分liを設定し、各線分li上における強度分布Ii(x,y)について、強度がほぼ(th)となるn個の点(位置Mi)を順次求め、各点(位置Mi)を結んだn角形を、最小楕円近似して、スポット径を測定する。【効果】 ノイズの影響を受けず、また、ピックアップの設置方向と関係なく、スポット径が正確に測定できる。
Claim (excerpt)：
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ、該素子上の点(x,y)における強度IN(x,y)を用いて演算処理を行う検査装置において、処理手段として、前記強度IN(x,y)がピークとなる点P(xp,yp)を求める手段と、前記点P(xp,yp)を通り、かつ、前記撮像素子上の複数の線分Li(i=1〜mの整数)上における強度分布IN(x,y)を求める手段と、前記ピークとなる点Pによって2分される線分Liの一方を線分li(liは前記点Pをその一端とする線分で、i=1〜nの整数であり、かつ、n≦2m)としたとき、該線分li上における強度分布Ii(x,y)において、強度がほぼ(th)となる位置Mi〔ただし、(th)は、0<(th)<Ii(xp,yp)の定数〕を求める手段と、前記n個の位置Mi(i=1〜nの整数)について、位置M1からMnを順に結んだn角形を、最小楕円近似する演算手段、とを備えたことを特徴とするスポット検査装置。
IPC (2)：
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