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J-GLOBAL ID：200903095814956217

欠陥検査装置

Inventor：
山田 和公

About 山田 和公

, 
長谷川 昇

About 長谷川 昇

, 
國永 学

About 國永 学


Applicant, Patent owner：
新日本製鐵株式会社

About 新日本製鐵株式会社


Agent (1)： 矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000119097
Publication number (International publication number)：2001307067
Application date： Apr. 20, 2000
Publication date： Nov. 02, 2001
Summary：
【要約】【課題】 欠陥のサンプルデータが少ない場合においても、短期間で高性能な判別手段を生成する機能を有した欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 判別手段として、各欠陥の種類毎に判別条件を明記したロジックテーブルによる判別を用いることで、人間の手による調整が容易となり、欠陥のサンプルデータ以外の欠陥に関する知識を反映させることを可能にする。また、サンプルデータを特徴量の類似したデータ毎に分類し、ロジックテーブルを自動的に構築する手段を備えることによって、ロジックを生成する時間を短縮する。
Claim (excerpt)：
検査対象を撮影し、画像を得る撮像手段;撮像手段で得られた画像から欠陥を検出する欠陥検出手段;欠陥検出手段で検出された各欠陥の特徴量を抽出する特徴量抽出手段;欠陥の特徴量から、各欠陥の種類毎に判別条件式を記したロジックテーブルによってその種類及び程度を判別する欠陥判別手段;欠陥の種類及び程度が既知のデータからなるデータベースに対して、それぞれの特徴量を比較し、その値の類似したデータを一つのクラスタにまとめることでデータベースを複数のクラスタに分類する純粋クラスタ分類機能、および分類された各クラスタ毎に特徴量の値を用いた判別条件式を生成し、ロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成機能の二つの機能を有し、データベースから自動的にロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成手段;を備えた欠陥検査装置。
IPC (5)：
G06T 1/00 300 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/892 ,  G06T 7/00 250
FI (5)：
G06T 1/00 300 ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/892 B ,  G06T 7/00 250
F-Term (64)：
2F065AA22 ,  2F065AA28 ,  2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065CC06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EB05 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED08 ,  2G051ED21 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB18 ,  5B057CC01 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC36 ,  5B057DC40 ,  5L096AA07 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096DA02 ,  5L096DA04 ,  5L096EA43 ,  5L096FA17 ,  5L096FA32 ,  5L096FA33 ,  5L096FA59 ,  5L096FA64 ,  5L096FA65 ,  5L096KA04 ,  5L096MA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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