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J-GLOBAL ID：200903095845621264

微小部品組立方法

Inventor： 清 水 紀 智 ,  前 田 修 子 ,  高 畑 憲 一 ,  小 野 敦 ,  芝 池 成 人
Applicant, Patent owner： 松下技研株式会社
Agent (1)： 蔵合 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997299955
Publication number (International publication number)：1999129129
Application date： Oct. 31, 1997
Publication date： May. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 治具を用いることなく、微小部品の位置決め精度を高め、組立を容易に行うことを目的とする。【解決手段】 部品が配置される基板101上にポリイミド膜からなる犠牲層102を形成し、その上に所望の領域が開口した金属製のマスク103を配置し、その上からエキシマレーザー104を照射して部分的に犠牲層を除去して基板上に部品挿入穴105を形成し、そこに部品(太陽歯車)106を挿入する。同様な工程を繰り返し行って、必要な部品挿入穴を形成し、そこに部品を挿入し、最後にレーザーを全面照射して不要な犠牲層を除去する。

Claim (excerpt)：

基板上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層に部品挿入穴を有するパターンを形成する工程と、前記パターンの部品挿入穴に部品を挿入する工程と、前記犠牲層の不要部分を除去する工程とを含む微小部品組立方法。

IPC (4)：

B23P 21/00 301 ,  F16H 48/10 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/3065

FI (4)：

B23P 21/00 301 Z ,  F16H 1/42 ,  H01L 21/302 Z ,  H01L 21/302 J