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J-GLOBAL ID：200903095863632346

多電極静電チャック

Inventor： シャモウィル シャモウィリアン ,  サミュエル ブロイド ,  マヌーチャー ビラン
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995180180
Publication number (International publication number)：1996203991
Application date： Jul. 17, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 チャックの迅速な取付け取り外し、チャックと支持体間の良好な熱伝達を可能にすると共に、基板の堆積する腐食汚染物質の形成を最小にする固定装置を提供する。【構成】 基板42を処理時に保持するための多極静電チャック20は、第1電極22、第2電極24、下部26a、中央部26b、及び上部26cを有する絶縁体26とを備える。処理チャンバー41は支持体44にチャック20を載置するのに適した底面28を持ち、基板42を保持する上面30を有する。第1、第2電極は単極または双極の構造でもよい。作業中、チャックは、その底面が支持体の上に載置され、その第1電極が支持体に対して電位差を与えられると、第1静電力がチャックを支持体の上に保持する。又その第2電極が、その上に載置された基板に対して電位差を与えられると、第2静電力が基板をチャックに保持する。

Claim (excerpt)：

処理チャンバー内の支持体の上に基板を保持する静電チャックであって、(a)第1電極および第2電極と、(b)(i) 該第1電極の下方にあり、該処理チャンバーの該支持体の上に載置するのに適した底面を持つ下部と、(ii)該第1電極と該第2電極の間にある中央部と、(iii) 該第2電極の上方にあり、上に基板を保持するのに適した上面を持つ上部とを有する絶縁体と、を備え、該チャックが該処理チャンバー内の支持体の上に載置されて第1電圧が該第1電極に印加されると、第1静電力が該チャックを該支持体の上に保持すると共に、基板が該チャックの上面に載置されて第2電圧が該第2電極に印加されると、第2静電力が該基板を該チャックに保持する、チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00