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J-GLOBAL ID:200903095881580655

反射板検査装置および反射板検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大前 要
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001210304
Publication number (International publication number):2003028755
Application date: Jul. 11, 2001
Publication date: Jan. 29, 2003
Summary:
【要約】【課題】品質管理に優れ、非接触で効率よく行うことができる反射板の検査方法および検査装置をを提供する。【解決手段】検査しようとする反射板に所定の入射角で光を照射する光源と、この光のうち反射板より互いに異なる反射角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光手段と、光強度測定手段の測定した光の強度および受光手段の検出した光の強度に基づいて反射板の反射特性の良否を判定する判定手段とを備える。
Claim (excerpt):
検査しようとする反射板に所定の入射角で光を照射する光源と、前記光のうち前記反射板より互いに異なる反射角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光手段と、光強度測定手段の測定した光の強度および前記受光手段の検出した光の強度に基づいて前記反射板の反射特性の良否を判定する判定手段とを具備する反射板検査装置。
IPC (5):
G01M 11/00 ,  G01N 21/95 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 520 ,  H04N 7/18
FI (5):
G01M 11/00 T ,  G01N 21/95 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 520 ,  H04N 7/18 B
F-Term (26):
2G051AA61 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051EB01 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA21 ,  2H088MA20 ,  2H091FA14Y ,  2H091FC30 ,  2H091GA02 ,  2H091GA13 ,  2H091LA30 ,  5C054CA04 ,  5C054CC05 ,  5C054EA05 ,  5C054FC04 ,  5C054FC15 ,  5C054HA05

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