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J-GLOBAL ID：200903095899513599

粒子含有流体の拡散稀釈装置および方法

Inventor： ウェーン.トーマス.マクダーモット ,  リチャード.カール.オッコヴィック
Applicant, Patent owner： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
Agent (1)： 押田 良久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992361182
Publication number (International publication number)：1993264432
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 正確且つ安全に粒子含有流体(反応性ガス)中の粒子量を計測し得るような拡散稀釈装置およびこれを使用した含有粒子計測方法を提供すること。【構成】 粒子含有流体22と稀釈用流体18とが管の長さ方向同軸上に層流を形成して流れる状態で稀釈するのに十分な長さを持った層流管10;噴射された粒子含有流体が該層流管内を該層流管の長さ方向の入口端12から出口端14に流れるように該層流管の入口端に該層流管と同軸に設けられ、且つ粒子含有流体源に連結する噴射管24;稀釈された粒子含有流体を該層流管の出口端で捕収するために該層流管の出口端に該層流管と同軸に設けられた捕収管34;該噴射管に併置されて該層流管の入口端を封止するとともに該噴射管から噴射された粒子含有流体の周囲を同軸上で被覆して流すために供給される稀釈用流体源に連結する稀釈用流体導入室20からなる。

Claim (excerpt)：

稀釈された粒子含有流体における含有粒子数がほぼもとの含有粒子数を保つようにして稀釈用流体で粒子含有流体を稀釈するようにした稀釈装置であって、(a)該粒子含有流体と該稀釈用流体とが長さ方向に共軸の層流を形成するような条件で且つ稀釈が行なわれるために十分な長さを有する層流管;(b)噴射された粒子含有流体が該層流管内を該層流管の長さ方向における入口端から出口端に流れるように該層流管の入口端に該層流管と同軸に設けられ、且つ粒子含有流体源に連結する噴射管;(c)稀釈された粒子含有流体を該層流管の入口端で捕収するために該層流管の出口端に該層流管と同軸に設けられた捕収管;(d)該噴射菅に併置されて該層流管の入口端を封止するとともに、該噴射管から噴射された粒子含有流体の周囲を共軸の被覆流として流すために供給される稀釈用流体源に連結する稀釈用流体導入空間室;(e)該捕収管に併置されて該層流管の出口端を封止するとともに該層流管内の稀釈された粒子含有流体と共軸に被覆流を形成した流体を排出するための流体排出空間室;からなる粒子含有流体の拡散稀釈装置。

IPC (3)：

G01N 15/00 ,  G01N 15/06 ,  G01N 15/14