合成石英ガラス部材の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：山本亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993100808
Publication number (International publication number)：1994305736
Application date： Apr. 27, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】本発明はOH基含有量と水素分子含有量を任意に制御することができ、したがって耐紫外線特性のすぐれた合成石英ガラス部材を得ることができる合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、化学式RnSiX4-n、(ここにRは同一または異種の脂肪族1価炭化水素基、Xは加水分解性基、nは0〜4)で示されるシラン化合物を酸水素火炎により火炎加水分解し、生成するシリカ微粒子を回転している耐熱性基体上に堆積し、溶融ガラス化する石英ガラス部材の製造方法において、多重管構造の酸水素火炎バーナーの中心ノズルからシラン化合物、特にはアルコキシシラン化合物と酸素ガスとの混合ガスを供給し、このときにシラン化合物と水素ガスが必要とされる酸素ガス理論量に対する酸素ガス実流量の比率を変化させることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

化学式RnSiX4-n、(ここにRは同一または異種の脂肪族1価炭化水素基、Xは加水分解性基、nは0〜4)で示されるシラン化合物を酸水素火炎により火炎加水分解し、生成するシリカ微粒子を回転している耐熱性基体上に堆積し、溶融ガラス化する石英ガラス部材の製造方法において、火炎を形成させる多重管構造のバーナーの中心ノズルにシラン化合物と酸素ガスとの混合ガスを供給し、このときにシラン化合物と水素ガスが必要とされる酸素ガス理論量に対する酸素ガス実流量の比率を変化させることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (3)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , C07F 7/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平3-290330
合成石英ガラス部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-282256 Applicant：信越化学工業株式会社

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