Pat

J-GLOBAL ID：200903095910308838

2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いた2軸平行・1軸旋回テーブル装置

Inventor： 岡村 諭 ,  深沢 陽一
Applicant, Patent owner： テイエチケー株式会社
Agent (1)： 世良 和信 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998062230
Publication number (International publication number)：1999245128
Application date： Feb. 26, 1998
Publication date： Sep. 14, 1999
Summary：

【要約】【課題】テーブルへの組み付けが簡単でかつ高精度に案内支持できる2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いたテーブル装置を提供する。【解決手段】基台34に対してテーブル33を同一姿勢で互いに交差する2軸方向に相対的に平行運動可能に支持するための2軸平行運動案内部70と、2軸平行運動案内部70に基台34とは反対側で装着されてテーブル33を回転可能に支持する回転支持部80とを有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

第1部材に対して第2部材を同一姿勢で互いに交差する2軸方向に相対的に平行運動可能に支持するための2軸平行運動案内部と、該2軸平行運動案内部に前記第1部材とは反対側で装着されて前記第2部材を回転可能に支持する回転支持部とを有することを特徴とする2軸平行・1軸旋回運動案内機構。

IPC (5)：

B23Q 1/48 ,  G01B 5/00 ,  G01B 21/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (5)：

B23Q 1/02 T ,  G01B 5/00 L ,  G01B 21/00 L ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 移動テーブル装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-204456   Applicant：有限会社坂井技研