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J-GLOBAL ID：200903095945105794

カセット搬送装置

Inventor： 今村 正義
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 塩野入 章夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993324955
Publication number (International publication number)：1995183352
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 任意のカセットのみの搬送が可能で、ダストの発生を防止できるカセット搬送装置を提供する。【構成】 所定ピッチ間隔で配列され、上下動機構2により上下方向に駆動されるステージ1と、そのステージ1の両側に配置され、往復動機構4によりステージ1の配列方向に1ピッチ分の往復動を行う1対のガイド機構(ガイドバー3)とにより構成し、ステージ1とガイド機構(ガイドバー3)を各々独立して動作可能として、カセット1をピッチ送りするカセット搬送装置を構成する。

Claim (excerpt)：

カセットをピッチ送りするカセット搬送装置において、所定ピッチ間隔で配列され、上下動機構により上下方向に駆動されるステージと、前記ステージの両側に配置され、往復動機構により前記ステージの配列方向に1ピッチ分の往復動を行う1対のガイド機構とからなり、前記ステージと前記ガイド機構は各々独立して動作可能であることを特徴とするカセット搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭57-164278
  
• 特開平1-316147
  
• 特開平4-106015
  
• 特開昭60-031423