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J-GLOBAL ID：200903095969845950

研磨方法

Inventor： 久岐 正明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996054886
Publication number (International publication number)：1997248757
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】加工面にスクラッチをほとんど発生させることなく、精度の高い研磨を行うことが可能な研磨方法を提供する。【解決手段】弾性を有するポリシャ2と、これを固定するテーブル3と、研磨対象物4を保持するホルダー5と、研磨剤1が入った研磨剤タンク9と、研磨剤タンク9の研磨剤1をポリシャ2上に供給するための供給用パイプ7と、ポリシャ2から流れ落ちた研磨剤1を受け取る受け皿10と、受け皿10の研磨剤1を再び循環させるための循環ポンプ8とを備える。研磨剤1には、比較的小径の砥粒を含んだ研磨液に凝集剤を添加し、その後所定時間放置したものを使用している。この研磨剤によれば、研磨の初期段階では、小径の砥粒が凝集された状態にあるため、大径の砥粒を使用した場合と同じ効果を得ることができ、研磨の仕上げ段階では、凝集状態にある小径の砥粒がほぐれて、小径の砥粒の効果を得ることができる。

Claim (excerpt)：

研磨剤を介してポリシャを加工面に押圧しながら、前記ポリシャと前記加工面とを相対的に摺動させることで前記加工面の研磨を行う研磨方法において、前記研磨剤には、凝集剤で凝集させた砥粒の集塊が含まれていることを特徴とする研磨方法。