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J-GLOBAL ID：200903095974412329
基板処理装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小谷 悦司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998056534
Publication number (International publication number)：1999260883
Application date： Mar. 09, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】 一連の基板処理を行うシステム化された基板処理装置の一部としてバッファ装置を機能させつつ、バッファ装置の設計の自由度を高める。【解決手段】 インデクサー部2等の複数のユニットの一部にバッファ部50を設けて基板処理装置1を構成した。バッファ50は、インデクサー部2、現像ユニット80、ポストベークユニット90と電気的に接続し、インデクサー部2から基板払出し信号を、現像ユニット80等からトラブル発生時のエラー信号をそれぞれバッファ50に出力するようにした。バッファ50は、基板払出し信号に基づいて上流側の基板数を求め、エラー信号が入力されると、バッファ部50からの基板の送出を停止させる。また、上流側から流れてくる基板を収納、待機させ、上流側の基板数がバッファ部50に収納可能な範囲の予め設定された基板数に達するとインデクサー部2に供給停止信号を出力するようにした。
Claim (excerpt)：
供給部から供給される基板を複数の単位処理部にわたって所定の搬送順序で搬送しながら所定の処理を施すように構成されるとともに、その一部に基板を収納して待機させるためのバッファ部が介設されている基板処理装置において、上記供給部から基板が払出された旨の基板払出し信号を上記バッファ部に対して出力するように上記供給部又はこれに隣設される単位処理部のいずれか一方が構成されるとともに、トラブルの発生に応じてエラー信号を上記バッファ部に向けて出力するように上記搬送順序においてバッファ部よりも下流側の単位処理部が構成され、上記基板払出し信号に基づいて供給された基板を計数しつつ上記搬送順序においてバッファ部よりも上流側の単位処理部にある基板数を求め、上記エラー信号の入力に応じてバッファ部から下流側の単位処理部への基板の送出を停止するとともに、上記上流側の基板数がバッファ部に収納可能な範囲の予め設定された基板数に達したときに上記供給部に基板の供給停止信号を出力するように上記バッファ部が構成されていることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 561
