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J-GLOBAL ID：200903095977899660

処理液滴下用ノズルの洗浄方法及び洗浄装置

Inventor： 樋口 孝雄
Applicant, Patent owner： ホーヤ株式会社
Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992173120
Publication number (International publication number)：1994020936
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 作業中止時にノズル先端部の乾燥を防止し、ノズル先端に付着した乾燥防止用の溶媒に起因する不良を解消する。【構成】 塗布液滴下用ノズル13から塗布液を滴下する塗布作業の中止時に、塗布液の溶媒を溶媒噴射口19Bからノズル13の先端部に吹き付け、吹き付けた溶媒をカバー部材16によって回収し、導出配管17、溶媒タンク18、溶媒供給配管19及び供給ポンプ20を介して再び前記ノズル先端部に吹き付けて循環させる。このときフィルタ21で溶媒を濾過する。塗布作業の再開時には、塗布液滴下用ノズル13の先端部へ不活性ガスを吹き付け、ノズル先端に付着した溶媒を除去する。

Claim (excerpt)：

処理液滴下用ノズルから処理液を滴下する作業の中止時に、前記処理液の溶媒を前記ノズルの先端部に吹き付け、吹き付けた溶媒を回収して濾過し、再び前記ノズル先端部に吹き付けて循環させることを特徴とする処理液滴下用ノズルの洗浄方法。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  B05B 15/02 ,  B05B 15/04 104 ,  G03F 7/16 502