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J-GLOBAL ID：200903095994094102

気体分離装置

Inventor： 村上 義夫 ,  阿部 哲也 ,  廣木 成治 ,  秦 聰 ,  大澤 晴繁
Applicant, Patent owner： 日本原子力研究所 ,  三菱重工業株式会社
Agent (1)： 岡本 重文 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992201356
Publication number (International publication number)：1994047238
Application date： Jul. 28, 1992
Publication date： Feb. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 連続分離できる上に、分離能力を向上できる。また装置の小型化、低コスト化、安全性の向上を併せ達成できる。【構成】 吸気口側と排気口側との間に回転可能に設置した軸流翼を高速回転させて真空排気するターボ分子ポンプ4、または多段に組み合わせた回転平板と静止平板とを有し同回転平板を回転させたときの気体の粘性を利用して真空排気する平板ねじ溝型真空ポンプ1〜3、若しくは単段または多段に組み合わせた回転円筒と静止円筒とを有し同回転円筒を回転させたときの気体の粘性を利用して真空排気する円筒ねじ溝型真空ポンプを組み合わせて、気体分離ユニットを形成し、分子量、粘性の異なる複数の気体を含む混合気体を吸気口AB9から気体分離ユニット内へ導入して、これら気体の特性差によりこれらの気体を高真空圧力領域から低真空圧力領域の間で分離する。

Claim (excerpt)：

吸気口側と排気口側との間に回転可能に設置した軸流翼を高速回転させて真空排気するターボ分子ポンプ、または多段に組み合わせた回転平板と静止平板とを有し同回転平板を回転させたときの気体の粘性を利用して真空排気する平板ねじ溝型真空ポンプ、若しくは単段または多段に組み合わせた回転円筒と静止円筒とを有し同回転円筒を回転させたときの気体の粘性を利用して真空排気する円筒ねじ溝型真空ポンプを組み合わせて、気体分離ユニットを形成し、分子量、粘性の異なる複数の気体を含む混合気体を吸気口から気体分離ユニット内へ導入して、これら気体の特性差によりこれらの気体を高真空圧力領域から低真空圧力領域の間で分離することを特徴とする気体分離装置。

IPC (3)：

B01D 53/24 ,  B01D 59/20 ,  F04D 19/04