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J-GLOBAL ID：200903096009973802

感光性樹脂組成物

Inventor： 竹田 直滋 ,  指田 暢幸 ,  番場 敏雄
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992238600
Publication number (International publication number)：1994083054
Application date： Sep. 07, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とを2-ヒドロキシ-1,3-ジメタクリロキシプロパンとメタノールでエステル化後、2,2-ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)-フェニル〕プロパンと縮合してなるポリアミド酸エステルを主成分とする感光性樹脂組成物。【効果】 良好な感光特性を有し、硬化後の皮膜がSi等の基板及びエポキシ系封止材料との密着性に優れ、吸湿処理後にも劣化のない感光性ポリイミド樹脂を得ることができる。

Claim (excerpt)：

式(1)で示されるポリアミド酸エステルを主成分とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 特開昭63-317553
  
• 特開昭62-290726
  
• 特開平3-170549
  
• 特開昭62-215264
  
• 特開昭61-118423
  
• 特開昭57-076017
  
• 特開平2-311563
  
• 特開平2-154263