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J-GLOBAL ID：200903096016537635

基板収納ケースおよび露光装置

Inventor： 青木 淳行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999196792
Publication number (International publication number)：2001022053
Application date： Jul. 09, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 内部に収納された基板を取り出すことなく確認する。【解決手段】 マークMを有する基板Rを収納する基板収納ケース8において、外部からの光を入射する入射部16と、入射部16に入射した光を外部へ出射可能な出射部16と、入射部16に入射した光をマークMを介して出射部16へ向けて反射する反射部17、18とを備える。

Claim (excerpt)：

マークを有する基板を収納する基板収納ケースにおいて、外部からの光を入射する入射部と、該入射部に入射した前記光を外部へ出射可能な出射部と、前記入射部に入射した前記光を前記マークを介して前記出射部へ向けて反射する反射部とを備えることを特徴とする基板収納ケース。

IPC (3)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3)：

G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/30 503 E

F-Term (19)：

2H095BA02 ,  2H095BD29 ,  2H095BE12 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA20 ,  5F031GA03 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA06 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F046AA21 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5F046DD04