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J-GLOBAL ID：200903096029530656
表面状態検査装置、該表面状態検査装置を備える露光装置及び該露光装置を用いてデバイスを製造する方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994005298
Publication number (International publication number)：1995209202
Application date： Jan. 21, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 回路パターンを異物として誤検出することがなく、しかも異物の付着位置によらずほぼ一定の感度と精度で異物検出が行なえる、表面状態検査装置を提供すること。【構成】 波長が互いに異なり且つ偏光方向が互いに直交する偏光光24s、24pをポリゴンミラー22により反射すると共に被検査面側がテレセントリックなfθレンズ23及び分波器24を介して偏光光24sをレチクル30上に集光し偏光光24pを回折格子25上に集光し、ポリゴンミラー22を回転させることにより偏光光24sによりレチクル30の被検査面を走査し偏光光24sにより回折格子25を走査し、走査中にレチクル30から側方に生じる散乱光30bと回折格子25から側方に生じる回折光25aをハーフミラー26により重ね合わせた後、被検査面側がテレセントリックな受光光学系27に入射させ、重なり合った散乱光と回折光を光検出器12により電気信号に変換する。
Claim (excerpt)：
波長と偏光方向とが互いに異なる第1と第2の光の内の第1の光により被検査面を走査すると同時に第2の光により回折格子を走査する走査光学系と、前記被検査面から側方に生じる散乱光と前記回折格子から側方に生じる回折光とを受光して重ね合わせる受光光学系と、前記受光光学系からの光を電気信号に変換する光電変換手段とを有し、前記走査光学系と前記受光光学系は前記被検査面側に関してテレセントリックな光学系より成ることを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G03F 1/08
, H01L 21/027
