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J-GLOBAL ID：200903096054387469

液晶表示装置の欠陥修正方法

Inventor： 吉村 和也 ,  中井 俊治 ,  宮▲崎▼ 修
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992233948
Publication number (International publication number)：1994082735
Application date： Sep. 01, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 表示装置において、表示面の透光性を損なうことなく、修正部分が陰として視認されない表示装置の欠陥修正方法を提供する。【構成】 表示面が透明板を有する表示装置において、該表示面上の欠陥部に、レーザー光のサイズを変化させてArFエキシマレーザー光を照射する。または、レーザー光のエネルギー分布を中央部が高く、外周部が低くなるようにして照射する。このことにより、中央部から周辺部にかけて徐々に浅くなっていく照射面が形成される。よって、照射部分の輪郭が不明瞭となり、輪郭が陰として視認されにくい良好な加工面を得ることができる。また、ArFエキシマレーザーは、短波長であるため、より細かい分子オーダーでの微細加工が可能であり、熱による材質の変化がない。よって切断面が極めてシャープであり、粗面化が起こらない。従って、表示面の透光性を損なわずに加工を行うことができる。

Claim (excerpt)：

表示面が透明板からなる液晶表示装置において、該表示面上の欠陥部に、ArFエキシマレーザー光を、その欠陥部におけるビーム寸法を複数値に変化させて照射し、該欠陥部を除去する液晶表示装置の欠陥修正方法。