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J-GLOBAL ID：200903096066994352
透明導電膜
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 博光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992214893
Publication number (International publication number)：1994060723
Application date： Aug. 12, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 透光性(可視波長域)が良好で、かつ、電気的にも低抵抗で大電流用電極に使用できるITO膜を提供すること。【構成】 ITO膜2と透明絶縁膜であるIn2 O3 膜3を膜成長方向に交互に、層状に積み重ねたこと。
Claim (excerpt)：
スズ添加酸化インジウム透明導電膜と透明絶縁膜とを、膜成長方向に交互に層状に積み重ねて成ることを特徴とする透明導電膜。
IPC (4)：
H01B 5/14
, C30B 29/16
, G02F 1/1343
, H01L 31/04
