固体撮像素子及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松隈秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995178897
Publication number (International publication number)：1997036338
Application date： Jul. 14, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】固体撮像素子の感度シェーディング補正を行なう場合において、様々な光学系に対する補正が1枚の補正用マスクで対応できるようにして、製造工程の簡略化、工数の低減化を有効に図る。【解決手段】シリコン基板1上に多数の受光部がそれぞれ分離されて形成された撮像領域3上に、各受光部に対応してそれぞれマイクロ集光レンズ9が形成された固体撮像素子において、撮像領域3に入射される光Lが、各マイクロ集光レンズ9にてそれぞれ対応する受光部に集光される位置に各マイクロ集光レンズ9を配列形成して構成する。この場合、マイクロ集光レンズ9を形成するためのマスク形成用膜に対する露光工程時に、露光光の集光倍率を所定パラメータに基づいて調整して、該マスク形成用膜によるレジストパターンに基づいて形成されるマイクロ集光レンズ9の形成位置を、該マイクロ集光レンズ9を通しての入射光Lが受光部に集光されるように補正する。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に多数の受光部がそれぞれ分離されて形成された撮像領域上に、上記各受光部に対応してそれぞれ集光レンズが形成された固体撮像素子において、上記撮像領域に入射される光が、上記各集光レンズにてそれぞれ対応する受光部に集光される位置に上記各集光レンズが配列形成されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L 27/14 , H01L 21/027 , H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (4)：

H01L 27/14 D , H04N 5/335 V , H01L 21/30 516 A , H01L 27/14 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

固体撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-290599 Applicant：ソニー株式会社
固体撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-177680 Applicant：日本ビクター株式会社
特開平3-190166

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