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J-GLOBAL ID：200903096105535140

静電力駆動光走査装置とその製造方法

Inventor： 豊田 隆一 ,  兼松 修子 ,  東 奈緒子 ,  中村 邦彦
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993218329
Publication number (International publication number)：1995072409
Application date： Sep. 02, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、ファクシミリやプリンタ-の書き込み用、光ピックアップのトラッキング調整用、また将来の光情報処理分野に利用できる光走査装置に関し、超小型で高信頼性の光走査装置を提供するものである。【構成】 シリコン基板の鏡面仕上げ面に金属コ-ティングし半導体レ-ザ光を反射するミラ-部1と、ミラ-部1を両側から支持し1軸方向にねじれを生じる走査用の梁と、これらと一体で形成されガラス基板7と接合するためのミラ-外周部と、ミラ-部裏面に対向する位置に配置された駆動電極4と、駆動電極4を絶縁するための絶縁膜5と、ミラ-部1と駆動電極4間のギャップを決めるギャップ形成部6と、前記駆動電極4、絶縁膜5、ギャップ形成部6を有するガラス基板7からなり、前記ミラ-外周部3とギャップ形成部6において陽極接合することにより、一体化した光走査装置。

Claim (excerpt)：

シリコン基板の鏡面仕上げ面に金属コ-ティングし、半導体レ-ザ光を反射するミラ-面とし、さらにその裏面にも金属コ-ティングされているミラ-部と、前記ミラ-部と一体で構成され、ミラ-部を両側から支持し、ミラ-部が1軸方向に変位できるようにねじれを生じる走査用の梁と、前記ミラ-部と走査用の梁と一体で形成されガラス基板と接合するためのミラ-外周部と、前記ミラ-部を駆動するためにミラ-部の下面に対向する位置に配置された駆動電極と、前記駆動電極を絶縁するための絶縁膜と、ミラ-の中央部を裏面から支持し、ミラ-部と駆動電極間のギャップを決めるギャップ形成部と、前記駆動電極、絶縁膜、ギャップ形成部を有するガラス基板からなり、前記ミラ-外周部とギャップ形成部において陽極接合することにより一体化されていることを特徴とする静電力駆動光走査装置。