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J-GLOBAL ID：200903096122994182

電磁アクチュエータ

Inventor： 渡辺 和英 ,  金光 陽一
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254115
Publication number (International publication number)：1994074297
Application date： Aug. 28, 1992
Publication date： Mar. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 常時の通電電力を要しない、除振テーブルを浮上保持する電磁アクチュエータを提供する。【構成】 中央部に設けられた空気ばね3と、該空気ばねを囲むように配置された電磁石4,5とからなり、該電磁石4,5の外周に設けられた、除振テーブル1に固定された磁性材料のターゲット16,17,18,19を前記電磁石4、5の磁気力により非接触で支持することを特徴とする電磁アクチュエータ2。

Claim (excerpt)：

中央部に設けられた空気ばねと、該空気ばねを囲むように配置された電磁石とからなり、該電磁石の外周に設けられた、除振テーブルに固定された磁性材料のターゲットを前記電磁石の磁気力により非接触で支持することを特徴とする電磁アクチュエータ。

IPC (5)：

F16F 15/03 ,  F16F 9/02 ,  F16F 15/02 ,  G12B 9/08 ,  H01J 37/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-266134
  
• 特開平2-203040
  
• 特開平2-266134
  
• 特開平2-203040