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J-GLOBAL ID：200903096152777593
赤外線センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994265703
Publication number (International publication number)：1996128889
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】ボロメータ用の酸化バナジウム膜の劣化を防止して赤外線センサの感度を高める。【構成】Si基板1から空隙を介して熱的に分離されたSiO2 支持膜4の上に形成したVO2 膜7の表面をV2 O5 保護膜8で被覆するよことにより、後工程の雰囲気でVO2 膜7が劣化することを防止する。
Claim (excerpt)：
基板上に設けた空隙を介して熱的に分離された支持膜の上に形成したボロメータ用の酸化バナジウム膜と、前記酸化バナジウム膜の表面を被覆して形成した五酸化バナジウム膜からなる第1の保護膜と、前記第1の保護膜を含む表面に設けた第2の保護膜とを有することを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2)：
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