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J-GLOBAL ID：200903096165558785

静電アクチュエータ、該静電アクチュエータを備えたアクチュエータアレイ、光偏向器および情報処理装置

Inventor： 八木 隆行 ,  山本 智子 ,  赤池 正剛 ,  中山 優 ,  高木 博嗣
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993213117
Publication number (International publication number)：1995063999
Application date： Aug. 27, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 変位(または変位角)と電圧との依存性が略線形性を有し、ダイナミックレンジを広く取ることが可能な静電アクチュエータを提供する。【構成】 固定電極13を設けた基板4上に、支持部18により第1空隙16を介して支持した機械可動部14が設けてあり、第2空隙17を介して可変手段としての支点部15が機械可動部14の下部に配置してある。機械可動部14は電気導電体薄膜からなり、ばね性を有する。支持部18を介して機械可動部14と固定電極13との間に電圧を印加すると、機械可動部14は基板4側に変位する。印加電圧を増すと機械可動部14はさらに変形して支点部15の端面(上面)に接触し、接触位置を支点として変形する。すなわち、低電圧下では機械可動部14の有効ばね長さが(L)であり、機械可動部14が支点部15に接する電圧以上では有効ばね長さが短くなって(l)となり、ばね定数は変化し大きくなる。

Claim (excerpt)：

上面に少なくとも一つ以上の固定電極を設けた基板と、該基板上に空隙を介して形成したばね性を有する機械可動部とを有し、前記固定電極に電圧を印加することにより、前記機械可動部を前記固定電極側に空間的に変位させる静電アクチュエータにおいて、前記機械可動部の変位量が増すとそのばね定数を大きくする可変手段を有することを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (4)：

G02B 26/08 ,  G01B 7/34 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28