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J-GLOBAL ID：200903096171282554

100nm以下の波長を濾光するための格子素子

Inventor： クラウス・ハイデマン ,  カールフリート・オスターリート
Applicant, Patent owner： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
Agent (4)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003579308
Publication number (International publication number)：2005521107
Application date： Mar. 10, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

本発明は、100nm以下の波長を濾光するための格子素子に関するものである。この格子素子は単体格子要素を多数有してなり、単体格子要素は格子周期を与える格子線を有している。本発明の特徴は、単体格子要素が、格子素子によって決まる平面に対して湾曲した表面上に、格子素子に当たる光束の光線の方向に順に並べて配列されていることである。湾曲した表面は、連続する多角形列によって規定される。単体格子要素は、格子線を備えた平らな格子表面をそれぞれ有している。

Claim (excerpt)：

100nm以下の波長を濾光するための格子素子であって、 格子周期を与える格子線を有した複数の単体格子要素(9.1,9.2,9.3,109.1,109.2,109.3,109.17,109.18)を備えている格子素子において、 前記単体格子要素(9.1,9.2,9.3,109.1,109.2,109.3,109.17,109.18)は、前記格子素子(1,2000)に当たる光束(100)の光線の方向において、前記格子素子(1,2000)によって張られる平面に対して湾曲した支持面上に順番に並べて配列されていることを特徴とする格子素子。

IPC (4)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  H01L21/027

FI (4)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/06 B ,  H01L21/30 531A

F-Term (16)：

2H049AA07 ,  2H049AA08 ,  2H049AA18 ,  2H049AA32 ,  2H049AA34 ,  2H049AA37 ,  2H049AA51 ,  2H049AA58 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2H049AA66 ,  2H097LA10 ,  2H097LA17 ,  2H097LA20 ,  5F046CB08 ,  5F046GB07