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J-GLOBAL ID：200903096171548031

アルミナ質ベルジヤ-

Inventor： 森田 敬司 ,  島井 駿蔵 ,  五十嵐 昇 ,  原田 晴司 ,  永坂 幸行 ,  安藤 和
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992016149
Publication number (International publication number)：1993217946
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、フッ化物ガスによる腐食が少なく、かつウェハ-の汚染も回避できて、しかもマイクロ波の吸収が少なくて寿命が長く、生産性に適するアルミナ質ベルジヤ-を得ようとするものである。【構成】 アルミナが99.9%以上、SiO2 が100ppm 未満、アルカリ金属酸化物が50ppm 以下の多結晶アルミナ質焼結体で、比重が3.96以上、平均結晶粒径が10μm 以上、1〜10GHz のマイクロ波で誘電体損失tan δが8×10- 4 以下であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

アルミナが99.9%以上、SiO2 が100ppm 未満、アルカリ金属酸化物が50ppm 以下の多結晶アルミナ質焼結体で、比重が3.96以上、平均結晶粒径が10μm 以上、1〜10GHz のマイクロ波で誘電体損失 tanδが8×10-4 以下であることを特徴とするアルミナ質ベルジヤ-。

IPC (2)：

H01L 21/302 ,  C30B 25/08