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J-GLOBAL ID：200903096180939906
ポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991327149
Publication number (International publication number)：1993139775
Application date： Nov. 15, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：
【要約】【目的】耐熱性、光学的特性に優れたポリシリコンTFT用石英ガラス基板。【構成】ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1150°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。
Claim (excerpt)：
ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1150°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。
IPC (2)：
C03C 3/06
, G02F 1/1333 500
