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J-GLOBAL ID:200903096188839617

イメージセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 船橋 國則
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996033230
Publication number (International publication number):1997232555
Application date: Feb. 21, 1996
Publication date: Sep. 05, 1997
Summary:
【要約】【課題】 画素間クロストークの発生を避けるために、N型の半導体基板に設けたP型のウエル層に受光部となるN+ 型の不純物層を形成すると、P型のウエル層とN+ 型の不純物層との接合容量が増加して検出感度を低下させていた。【解決手段】 第1導電型(N型)の半導体基板11に設けた第2導電型(P型)のウエル層12に第1導電型の受光部となるN+ 型の不純物層13を形成したイメージセンサ1 において、N+ 型の不純物層13とP型のウエル層12との間に、N+ 型の不純物層13よりも不純物濃度が低くかつN+ 型の不純物層13の下部側に接続するN- 型の不純物層14を備えたものである。またはP型のウエル層12よりも不純物濃度が低くかつN+ 型の不純物層13の下部側に接合するP型の不純物層(図示省略)を備えてもよい。
Claim (excerpt):
第1導電型の半導体基板に設けた第2導電型のウエル層に第1導電型の受光部を形成したイメージセンサにおいて、前記第1導電型の受光部と前記第2導電型のウエル層との間に、該第1導電型の受光部よりも不純物濃度が低くかつ該第1導電型の受光部の下部側に接続する第1導電型の不純物層を備えたことを特徴とするイメージセンサ。
IPC (3):
H01L 27/146 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/335
FI (3):
H01L 27/14 A ,  H04N 5/335 E ,  H01L 31/10 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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