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J-GLOBAL ID：200903096191881926

カンチレバ加振装置

Inventor： 北村 真一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 田中 隆秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996212715
Publication number (International publication number)：1998054835
Application date： Aug. 12, 1996
Publication date： Feb. 24, 1998
Summary：

【要約】【課 題】 制御し易い大きさの印加電圧により加振用の圧電体を適切な振幅で安定して発振できるようにすること。【解決手段】 圧電体(28,29)の接合面(28a,29a)を互いに接合して構成しこれを挟んで互いに反対側にある被支持部27aおよびカンチレバ支持部27bを有する複合圧電体27と、前記複合圧電体27の前記被支持部27aを支持する複合圧電体支持部材26と、前記複合圧電体27のカンチレバ支持部27bにより基端部が支持され且つ先端部がプローブ12を支持するカンチレバ8と、前記複合圧電体27を構成する一対の圧電体(28,29)の中の一方を前記接合面(28a,29a)に垂直な方向に伸長させ且つ他方を縮小させるように電圧を印加する電圧印加手段(16+17+18+19)とから構成されるカンチレバ加振装置。

Claim (excerpt)：

下記の要件を備えたことを特徴とするカンチレバ加振装置、(A01)圧電体の接合面を互いに接合して構成された複合圧電体、(A02)前記接合面を挟んで互いに反対側に有る被支持部およびカンチレバ支持部を有する前記複合圧電体、(A03)前記複合圧電体の前記被支持部を支持する複合圧電体支持部材、(A04)前記複合圧電体のカンチレバ支持部により基端部が支持され且つ先端部がプローブを支持するカンチレバ、(A05)前記複合圧電体を構成する一対の圧電体の中の一方を前記接合面に垂直な方向に伸長させ且つ他方を収縮させるように電圧を印加する電圧印加手段。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z