Pat

J-GLOBAL ID：200903096196549016

ウエハ加工用テープおよびその使用方法

Inventor： 竹村 康男 ,  成松 治 ,  小松 和義 ,  武内 洋子
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992228621
Publication number (International publication number)：1994077193
Application date： Aug. 27, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【構成】 シリコン含有モノマーを含むモノマー混合物を、反応性界面活性剤を用いて重合しアクリル系樹脂エマルジョン粘着剤を得る。基材フィルムに同粘着剤を塗布してウエハ加工用テープを得る。【効果】 本ウエハ加工用テープは耐水性に優れ、かつ、研削後のウエハ表面の汚染を防止する。

Claim (excerpt)：

シリコン含有モノマーが5.0〜30.0重量%であるモノマー混合物100重量部に、反応性界面活性剤0.3〜5.0重量部を添加して重合し、アクリル系樹脂エマルジョン粘着剤とした後、該アクリル系樹脂エマルジョン粘着剤を基材フィルムに塗布してなることを特徴とするウエハ加工用テープ。

IPC (3)：

H01L 21/304 331 ,  C09J 7/02 JJW ,  C09J 7/02 JLE