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J-GLOBAL ID：200903096228511350

ハードディスクの欠陥検出方法

Inventor： 藤原 一雄
Applicant, Patent owner： グローリー工業株式会社
Agent (1)： 木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993066995
Publication number (International publication number)：1994281590
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、ハードディスク表面の種々の欠陥を高感度に検出することができると共に欠陥種類の識別を可能にすることができる磁気ハードディスクの欠陥検出方法を提供する。【構成】 ハードディスク表面に、円偏光状態の光を照射し、この反射光の一部を分離して検光子を介して検出する第1の検出系Aと、散乱および回折光を分離して検出する第2の検出系Bと、ハードディスク表面からの正反射光を分離して検出する第3の検出系Cとを具備し、これら3つの検出系の出力の相対関係から欠陥の種類を識別するようにしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ハードディスク表面に、円偏光状態の光を照射し、この反射光の一部を分離して検光子を介して検出する第1の検出系と、散乱および回折光を分離して検出する第2の検出系と、ハードディスク表面からの正反射光を分離して検出する第3の検出系とを具備し、これら3つの検出系の出力の相対関係から欠陥の種類を識別するようにしたことを特徴とするハードディスクの欠陥検出方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-010139
  
• 特開平2-010139
  
• 特開平1-155247
  
• 特開平1-155247
  
• 特公昭63-054633