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J-GLOBAL ID:200903096229868619

薬液制御弁

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 野村 茂樹 ,  富澤 孝 ,  山中 郁生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003402007
Publication number (International publication number):2005163877
Application date: Dec. 01, 2003
Publication date: Jun. 23, 2005
Summary:
【課題】 外部シール構造におけるシール性能を向上させることができる薬液制御弁を提供すること。【解決手段】 薬液制御弁1において、変性PTFE製のダイアフラム弁体8の周縁突出部22aの先端に段部24を、変性PTFE製のボディ3の突出部3aの先端に段部25をそれぞれ形成して、これらの段部24,25によりPFA製の溶着部品23をはめ込む溝26を形成する。そして、この溝26に溶着部品23をはめ込み、ボディ3の突出部3aとダイアフラム弁体8の周縁先端部22aとを溶着部品23によって溶着して外部シールを行う。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
シリンダ内を摺動するロッドの下端に設けられたフッ素樹脂製の弁体と、前記弁体が密着・離間する弁座と、前記弁座に連通する流入路及び流出路と、前記流入路、前記流出路、および前記弁座が形成されたフッ素樹脂製のボディとを有する薬液制御弁において、 前記弁体は、前記ボディに固定される固定部と、前記ロッドの摺動に伴い可動する可動部とを備え、 前記固定部と前記ボディとを溶着または溶接することにより外部シールを行うことを特徴する薬液制御弁。
IPC (2):
F16K7/16 ,  H01L21/304
FI (2):
F16K7/16 C ,  H01L21/304 648K
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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